1. Pureté
La pureté de la cible de pulvérisation doit être d'au moins 99,95 %. Plus la pureté est élevée, meilleures sont les performances du film pulvérisé.
2. Densité
La densité relative de la cible de pulvérisation doit être supérieure à 98 %. La cible avec une densité plus élevée peut réduire les éclaboussures de particules de film pendant le processus de revêtement, améliorant ainsi la qualité du film.
3. Structure granulaire
Molybdène la cible de pulvérisation est une structure polycristalline. Pendant la pulvérisation cathodique, les atomes cibles sont facilement pulvérisés le long de la direction la plus rapprochée des atomes hexagonaux. Afin d'atteindre le taux de pulvérisation maximal, il est nécessaire d'augmenter le taux de pulvérisation en modifiant la structure cristalline de la cible.
4. Granulométrie
La taille des grains peut aller du micron au millimètre. La vitesse de pulvérisation de la cible à grain fin est plus rapide que celle de la cible à gros grain, et la distribution d'épaisseur du film déposé est également relativement uniforme pour la cible avec une petite différence de taille de grain.
5. Liaison de la cible et du châssis
Avant la pulvérisation, la cible doit être connectée au châssis en cuivre sans oxygène pour s'assurer que la conductivité thermique entre la cible et le châssis est bonne. Après la liaison, une inspection par ultrasons doit être effectuée pour s'assurer que la zone non contraignante des deux est inférieure à 2%, afin de répondre aux exigences de la pulvérisation à haute puissance.
